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半導体

携帯電話やタブレット PC、ウェアラブルデバイスといった電子消費財は、現代のわたしたちの生活に欠かせないものになっています。小型の電子機器で便利な機能を使えているのは、IC (集積回路) の製造で用いられる最先端の微細化技術のおかげです。

「エンコーダ市場では多くのメーカーがしのぎを削っています。その中でも、製品品質を信頼できることから、我々は RLS を選びました」Robot and Design 社 (韓国)

現在大半のメーカーが、半導体製造の重要工程のひとつである、ウェハの搬送に人の手を使わずロボットを利用しています。ロボットのコアコンポーネントであるエンコーダの市場に目を向けると、繰り返し再現性が常に最優先で検討されています。RLS の磁気式エンコーダなら、最高で分解能単位の繰り返し再現性を発揮でき、また長期間にわたって安定してパフォーマンスを発揮します。

メリット

  • 高い費用対効果
  • 非接触式の 360°回転/直線の位置検出
  • 高い信頼性
  • 高い繰り返し再現性
  • サイズとテクノロジーの豊富なラインナップ
  • 業界標準のアブソリュート、インクリメンタル出力形式に対応
  • 高い動的応答性

導入事例

  • ピック&プレース
  • SMT プリントおよび実装
  • ウェハの処理
  • ウェアのテスト
  • PCBA や EMS のレーザーデパネリング

RND 社、RLS 製磁気式エンコーダシステムでウェア搬送ロボットのパフォーマンスを最適化

ウェハは複雑な工程をいくつも経て、最終的に複数の IC ユニットに分割されます。そしてその工程では、ウェア搬送ロボットが、工程から工程へとウェハを高速かつ正確に搬送するという重要な役割を担っています。ウェハは高価で壊れやすいため、ロボットがその役割を果たせるかどうかには安定性と信頼性が極めて重要です。